- 名称：GB/T 16942_2009 电子工业用气体 氢
- 类型：其他标准
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- 更新时间：05-02 18:17:07
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《GB/T 16942_2009 电子工业用气体 氢》下载简介
标准编号：GB/T 16942-2009
简体名称：电子工业用气体 氢
繁体名称：電子工業用氣體 氫
英文名称：Gas for electronic industry—Hydrogen
标准简介：
本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
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