- 名称：GB/T 29505_2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
- 类型：其他标准
- 大小：2.80 MB
- 更新时间：05-02 18:22:20
- 下载次数：8719次
- 语言：简体中文
- 推荐度：
- 上传会员ID：22113933
《GB/T 29505_2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》下载简介
标准编号：GB/T 29505-2013
中文名称：硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
英文名称：Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer
标准介绍：
本标准提供了硅片表面粗糙度测量常用的轮廓仪、干涉仪、散射仪三类方法的测量原理、测量设备和程序,并规定了硅片表面局部或整个区域的标准扫描位置图形及粗糙度缩写定义。
本标准适用于平坦硅片表面的粗糙度测量;也可用于其他类型的平坦晶片材料,但不适用于晶片边缘区域的粗糙度测量。
本标准不适用于带宽空间波长≤10nm 的测量仪器。
本站免费提供《GB/T 29505_2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》下载，我们己经对《GB/T 29505_2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》进行全面的整理检查，以保证您安全的下载《GB/T 29505_2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法》，本站还有更多房地产资料提供下载，为下次能方便快速的找到本站，记得收藏我们的网址（
http://www.liushuye.com）哦！
